클린룸에서의 램프 폭발이라는 악몽을 막는 방법
웨이퍼 제조 공정 중에 적외선 램프가 과부하로 인해 폭발한 경험이 있다면, 그것이 얼마나 큰 재앙인지 잘 알 것입니다. 단순히 열이 발생하지 않는 것뿐만 아니라, 엉망이 되어버립니다. 석영 조각들과 할로겐 가스가 사방으로 튀기 때문입니다. 클린룸에서 이런 상황은 정말 끔찍한 일입니다. 웨이퍼들도 오염될 수 있고, 가동 중단으로 인한 비용도 엄청납니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 특별히 설계된 히터를 사용합니다.
혼란을 방지하는 방법
우리는 고순도 석영을 사용하지만, 램프의 벽면을 더 두껍게 만듭니다. 이렇게 하면 온도가 급격히 변할 때 램프가 손상되는 것을 막아줍니다.
하지만 진짜 비결은 바로 ‘보호 커버’입니다. 이 보호 커버는 마치 안전 방패와 같습니다. 내부의 램프가 깨지거나 고장 나더라도, 이 보호 커버가 모든 파편들을 가두어줍니다. 그렇게 하면 웨이퍼들은 깨끗하게 유지됩니다. 그렇게 간단합니다.
과열을 방지하며 열을 관리하는 방법
모두가 빠른 가동 시간을 원합니다. 그래서 높은 와트수를 요구합니다. 하지만 석영에 너무 많은 부하를 주면 결국 깨져버립니다.
우리는 정확한 전압 조절이 중요하다는 것을 알고 있습니다. 어떤 사람들은 전압을 과도하게 높여서 램프에서 더 많은 열을 뽑으려 합니다. 하지만 그러면 필라멘트의 수명이 줄어들고, 결국 램프가 폭발할 수 있습니다. 우리는 전력 밀도와 하우징의 냉각 능력이 서로 잘 작동하도록 합니다.
작은 세부 사항들도 중요합니다
대부분의 램프는 중간 부분이 아니라 끝부분에서 고장납니다. 왜일까요? 보통 연결부가 느슨해서 그렇습니다. 느슨한 와이어는 아크 현상을 일으켜 열이 집중되는 곳을 만듭니다. 이를 해결하기 위해 우리는 표준화된 커넥터를 사용하여 연결부를 단단히 고정시킵니다. 그렇게 하면 틈새가 생기지 않고, 아크 현상도 없으며, 조기 고장도 방지됩니다.
한 가지 주의사항
열원과 웨이퍼 사이에 보호 커버를 추가함으로써 적외선의 전달이 약간 방해받을 수 있습니다. 약간의 차이가 있을 수 있습니다. 그렇다면 처리 시간을 조절하거나 전력을 약간 높여서 원하는 성능을 유지해야 합니다.