팹 장비의 열 누출을 막는 방법
고출력 가열등의 문제점은 바로 그 열이 제대로 통제되지 않는다는 것입니다. 웨이퍼를 처리할 때, 그 적외선 에너지는 한 곳에 머물러 있지 않고 사방으로 퍼져나갑니다. 이 열을 통제할 방법이 없다면, 기계의 내부 벽면이 그 열을 모두 흡수하게 됩니다. 결국 기계의 본체가 과열되고, 작업자들은 안전 위험에 처하게 됩니다. 아무도 겉보기에 오븐처럼 뜨거운 장비를 원하지 않습니다.
쿼츠를 활용한 해결책
이때 고순도 쿼츠가 유용합니다. 쿼츠는 적절한 파장의 적외선은 그대로 통과시키면서도, 나머지 열은 기계의 다른 부분으로 들어가는 것을 막아줍니다. 즉, 램프와 벽 사이에 쿼츠를 설치함으로써 열이 정해진 위치로만 가도록 할 수 있습니다. 그 결과, 장비의 외부는 시원하게 유지됩니다. 이는 혼란스러운 열원을 정밀한 도구로 변환하는 간단한 방법입니다.
단점
쿼츠는 튼튼해서 극심한 온도 변화에도 견딜 수 있지만, 완벽하지는 않습니다. 진짜 문제는 오염입니다. 팹에서 사용되는 화학물질이나 기름이 쿼츠 표면에 쌓이면 ‘열점’이 생깁니다. 그러면 유리가 그 열을 흡수하게 되고, 결국 파손될 수 있습니다. 열이 일정하게 유지되려면 유리를 항상 깨끗하게 유지해야 합니다. 그게 전부입니다.
실제 적용 방법
가장 좋은 점은 이 방법으로 설정을 변경할 수 있다는 것입니다. 열이 밖으로 빠져나가지 않으면, 내부 냉각 시스템도 그다지 열심히 작동할 필요가 없습니다. 외부가 너무 뜨거워지는 것을 막기 위해 큰 팬이나 과도한 냉각 장치를 사용할 필요도 없습니다. 이는 열 문제를 해결하는 간단한 기계적 해결책입니다. 램프에 전선을 연결하고 쿼츠를 설치하기만 하면, 처리 구역이 프레임과 완전히 분리됩니다. 정말 간단합니다.