CVD(화학 기상 증착) 히터

실제 운영 과정에서 스케줄러는 히터가 제대로 작동할 때까지 기다리지 않습니다. CVD 챔버는 레시피에 명시된 대로 즉시 일정한 온도를 유지해야 합니다. 설정된 온도에서 단 1도만 벗어나도 필름의 두께나 응력에 변화가 생기고, 최종적으로는 생산량도 줄어듭니다. 내부 구...