钼制红外灯支架

在300毫米光刻工艺中，光阻烘烤环节至关重要——要么合理利用热量，要么浪费掉这些热量。如果温度均匀性不佳，就会导致晶圆上各处的线宽出现差异。而如果气体释放或颗粒生成污染了工艺流程，那就需要重新处理芯片。因此，需要一种能够保持稳定温度的热源，这样才能确保每次烘烤时温度都保持稳定，同时避免对洁净室环境...