クリーンルームでのランプの爆発という悪夢を防ぐには
もしウェーハ製造時に赤外線ランプが故障してしまったことがあるなら、それがどれほど大変なことかご存知でしょう。単に熱が出なくなるだけではありません。問題は、水晶の破片やハロゲンガスが至る所に飛び散ってしまうことです。クリーンルームでは、これは本当に恐ろしい状況です。ウェーハが二次的に汚染されるだけでなく、停止による莫大な費用もかかります。私たちは、そうした問題に悩まされないように、特別なヒーターを開発しました。
汚れを封じ込める
まず、高純度の融合石英を使用しますが、その壁の厚さも厚くしています。これにより、急激な温度変化に耐えられるようになります。
しかし、本当の秘訣は「封止シース」です。これはまるで安全装置のようなものです。もし内部のランプが壊れたり消えたりしても、このシースがすべてを受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハが汚染されることはありません。とてもシンプルです。
燃焼せずに熱を扱う
誰もが迅速な温度上昇を望みますが、そのためには高ワット数が必要です。しかし、石英に過度な負荷をかけると、それが壊れてしまいます。
私たちが見つけた解決策は、正確な電圧設定です。一部の人々は、電圧を高くしてランプからより多くの熱を得ようとしますが、それは避けるべきです。そうすると、フィラメントの寿命が短くなり、結果としてランプが壊れてしまいます。私たちは、電力密度と筐体の冷却能力がうまく機能するようにしています。
重要な小さな点
ほとんどのランプは中央ではなく、端の部分で故障します。なぜでしょうか？通常は接続部が緩んでいるからです。
緩んだ配線はアークを発生させ、それによって熱点ができてしまいます。これを防ぐために、私たちはしっかりと固定される標準的なコネクタを使用しています。隙間もなく、アークもなく、早期の故障もありません。ただしっかりと固定されているだけです。
ちなみに、熱源とウェーハの間に保護シースを設置するため、少しは赤外線の透過が妨げられます。多少の違いがあるかもしれません。その場合は、処理時間を調整したり、わずかに出力を上げるだけで済むでしょう。