一般的な対流式オーブンを考えてみてください。そうしたオーブンでは、空気も、ラックも、さらには外壁までが加熱されます。半導体クリーンルームでは、これは問題です。作業員がオーブンの周りを通る際、オーブンの外壁に触れただけで火傷する可能性があります。また、必要のない金属壁を加熱するために大量のエネルギー...

はじめに 私たちがこの赤外線ヒーターを開発したのには、単純な理由があります。それは、半導体ウェーハ乾燥炉に使われているOEM製品の代わりとして、高性能で信頼性の高い代替品を提供するためです。 高価な海外製の機器を購入するのに疲れてしまった方や、同等の性能を持つソリューションを求めている方にとって、...

ファブ内では、フォトレジストの加熱時に0.5℃の温度変動があるだけで、ウェーハの線幅がナノメートル単位で変化してしまいます。そのため、多くのウェーハが廃棄されてしまうのです。私たちは、このような状況に対応するために、短波長の近赤外線を利用したリソグラフィー用ランプを開発しました。これにより、迅速か...

ファブフロアでは、どうなるかご存じでしょう：フォトレジストの焼成中に0.3°Cのドリフトが発生すると、全ロットが廃棄されることになります。ウエハーオーブン用のSK15赤外線ランプは、そのドリフトを発生源で抑えるために設計されました。熱予算に直接アプローチするため、ソフトベークおよびハードベークプロ...