ヒーターが機器を破壊しないようにするための対策 半導体ヒーターを製造する際、非常に高い温度に耐えなければなりません。しかし正直言って、その高温自体は比較的簡単に対処できる問題です。 本当の問題は電気の漏れです。もし高功率回路から電気が漏れ出すと、単に故障するだけでなく、制御ボードを破壊したり、全体...

なぜ私たちは赤外線ウエハー加熱方式に移行するのか？ 正直に言えば、従来の対流式オーブンは非効率的です。処理速度が遅く、サイズも大きい上、ウエハーに触れる前に空気や機械の金属部を加熱するだけで大量のエネルギーが無駄になります。 そのため、今ではみんなが赤外線加熱方式に切り替えているのです。これの方が...

製造現場での炭素削減：乾燥処理について話しましょう 正直に言えば、半導体製造工場は莫大なエネルギーを消費しています。そのエネルギーの多くは、ウェハーの湿式処理後の乾燥という単純な作業に使われてしまっています。 依然として、古式の対流式オーブンや、ウェハー自体ではなく周囲の空気を温めるだけの加熱装置...