セラミック赤外線ヒーターパネル

工場の現場では、温度均一性は追求する指標ではなく、ダイを製造することと廃棄物を出すことの間の微妙な線です。フォトレジストのベイク中にウエハ全体で1°Cの変動があると、ライン幅がずれて最終テストにまで影響を及ぼす可能性があります。我々は、このリスクを排除するためにセラミック赤外線ヒーターパネルを開発...