グローブボックス用赤外線ヒーター素子

半導体製造におけるグローブボックスの炭素排出量を削減する方法 半導体製造工場で使われているグローブボックスのほとんどは、従来の方法で動作しています。つまり、対流や抵抗加熱器を使ってチャンバー全体を加熱するのです。これは、たった一枚のピザを温めるために家全体を温めるようなもので、エネルギーの無駄遣い...