なぜ私たちは赤外線ウエハー加熱方式に移行するのか？ 正直に言えば、従来の対流式オーブンは非効率的です。処理速度が遅く、サイズも大きい上、ウエハーに触れる前に空気や機械の金属部を加熱するだけで大量のエネルギーが無駄になります。 そのため、今ではみんなが赤外線加熱方式に切り替えているのです。これの方が合理的です。部屋全体を加熱する代わりに、直接ウエハー自体を加熱できるからです。
待ち時間の削減 通常の乾燥方法を考えてみてください。基本的には、熱風が効果を発揮するのを待つ必要があります。とても時間がかかります。 一方、赤外線加熱方式では、電磁波を利用してウエハー表面の分子を動かします。短波長の赤外線を使用することで、ほぼ瞬時に表面層に届きます。最良な点は、鉛を含む安定剤や、通常は何時間も高温で焼く必要がある有害な溶剤を使わなくて済むことです。より迅速で、地球環境にも優しいのです。
無駄のないエネルギー利用 私たちは高いエネルギー密度を持つランプを使用しています。なぜかというと、エネルギーを必要な場所に集中させたいからです。 そうすれば、数分かかっていた準備時間が数秒に短縮されます。ウエハーが所定の温度に達するまで、大きなオーブンを1時間も稼働させる必要はありません。スイッチを入れれば、ウエハーはすぐに目的の温度に達します。シンプルです。
難しい点：熱応力 しかし、全てが完璧というわけではありません。強力な赤外線は非常に強力です。注意しないと、問題が起こります。 熱を急激に上げると、ウエハーが変形したり、最悪の場合は基板が割れてしまう可能性があります。バランスを取る必要があります。ワット数やランプとウエハーの距離を適切に調整し、熱点が生じないようにしなければなりません。
工程の簡素化 実際の利点は、赤外線加熱が「乾式」の工程であることです。燃焼ガスも、危険な排気ガスも発生しません。 また、真空状態や不活性ガス環境でも簡単に使用できます。「グリーン」や無鉛要件を満たしたい工場にとっては、これが最適な方法です。博物館に収められるべき、過度にエネルギーを消費する古い加熱システムとは対照的です。