ヒーターが機器を破壊しないようにするための対策 半導体ヒーターを製造する際、非常に高い温度に耐えなければなりません。しかし正直言って、その高温自体は比較的簡単に対処できる問題です。 本当の問題は電気の漏れです。もし高功率回路から電気が漏れ出すと、単に故障するだけでなく、制御ボードを破壊したり、全体...

金メッキされた赤外線ランプを破壊から守る方法 半導体製造工場において、金メッキされた赤外線ランプは、ウェーハの加熱に不可欠な役割を果たします。その金メッキ層は単なる装飾ではありません。実際、その層が熱をウェーハへと伝え、ランプ自体が過度に加熱されるのを防いでいます。 しかし、問題点もあります。これ...

なぜ私たちがクリーンルーム用のカートで赤外線加熱を利用するのか 半導体製造工場において、「清潔さ」は単なる目標ではなく、全てを決定づける要素です。部品に汚れが残っていれば、それは問題です。 そのため、私たちはカートシステムに赤外線加熱を採用しています。多くの人は熱というと空気を送り込むことを思い浮...

オーブンを待つのはやめよう：なぜ半導体製造において赤外線加熱が優れているのか 多くの半導体製造ラインでは、依然として熱風循環式の加熱方式が使われている。この方式を使ったことがある人なら、その手間のかかり方を知っているだろう。まず空気を加熱し、その空気がチャンバー内を温め、最終的にウエハーが温まるの...

イントロダクション これから、将来に備えた半導体製造工場を建設するとしましょう。そこでは、あらゆるものが正確で、迅速かつ完全に連携して動くのです。 加熱システムにおいては、それに見合った熱源が必要です。まさにそのために、私たちはハロゲン赤外線ヒーターランプを開発しました。これらのランプは、半導体製...

フォトレジストの加熱工程においては、歩留まりや処理時間が決まるのです。わずか数度の温度変動やウェーハ上の局所的な過熱があるだけで、線幅のばらつきや汚れ、溶剤の残留といった問題が発生します。必要なのは、速く温度を上昇させ、正確に制御し、その状態を維持できるヒーターです。そして、粒子の発生や停止時間の...

ファブ内では、フォトレジストの加熱時に0.5℃の温度変動があるだけで、ウェーハの線幅がナノメートル単位で変化してしまいます。そのため、多くのウェーハが廃棄されてしまうのです。私たちは、このような状況に対応するために、短波長の近赤外線を利用したリソグラフィー用ランプを開発しました。これにより、迅速か...