为什么我们要转向红外线晶圆加热技术？
说实话，传统的对流式烤箱效率极低。它们反应缓慢、体积庞大，而且为了加热空气和机器的金属壁而浪费大量能源，而这些能量本可以用来加热晶圆本身。
正因如此，现在大家都开始采用红外线加热技术。这种方式更高效——无需加热整个房间，只需直接加热晶圆表面即可。
告别漫长的等待时间
想想传统的干燥过程吧：你其实是在等待热空气发挥作用，这一过程需要很长时间。而使用红外线加热技术后，我们可以通过电磁辐射来让晶圆表面的分子运动起来。由于短波红外线能够迅速渗透到晶圆表面，因此无需再使用那些需要长时间高温烘烤才能分解的有害溶剂。这样不仅速度更快，还能减少对环境的污染。
高效且无浪费
我们设计的红外线灯具有很高的功率密度。因为这样可以让能量集中在最需要的地方。这样一来，原本需要几分钟才能达到的加热效果，现在几秒钟就能实现。不必再让大功率的烤箱空转一小时来等待设备升温。只要打开开关，晶圆就能达到所需的温度，非常简单。
难点：热应力问题
不过，这并非没有挑战。高强度的红外线虽然强大，但如果使用不当，反而可能带来问题。如果加热速度过快，就有可能导致晶圆变形，甚至破裂。因此，必须精确控制功率以及灯与晶圆之间的距离，以避免出现局部过热的情况。
简化工艺流程
最棒的一点是，红外线加热是一种“干式”加热方式，不会产生任何燃烧气体或有害烟雾。此外，它还可以与真空或惰性气体环境一起使用。对于那些希望符合“绿色制造”标准或避免使用铅成分的工厂来说，这无疑是一个理想的选择。相比那些耗能巨大的旧式加热系统，红外线加热技术显然更为先进。