スマートファブへの移行を検討しているなら、まずは熱管理について話し合いましょう。 もし工場を「スマートファブ」環境に移行させようと考えているのであれば、古い加熱装置が足かせになっていることに気づいているはずです。多くの工場では依然として対流式や抵抗加熱方式が使われています。しかし、これらの方法は速...

一般的な対流式オーブンを考えてみてください。そうしたオーブンでは、空気も、ラックも、さらには外壁までが加熱されます。半導体クリーンルームでは、これは問題です。作業員がオーブンの周りを通る際、オーブンの外壁に触れただけで火傷する可能性があります。また、必要のない金属壁を加熱するために大量のエネルギー...

スマートファブで適切な温度管理を行うには スマートファブを構築する際、おそらく熱というものが厄介な問題だと気づいているでしょう。従来の加熱装置では、空気を送り出すだけで、そのエネルギーの多くが無駄になってしまいます。 そのため、私たちは金メッキ処理されたツインチューブ式のIRランプを使用しています...

ヒーターが機器を破壊しないようにするための対策 半導体ヒーターを製造する際、非常に高い温度に耐えなければなりません。しかし正直言って、その高温自体は比較的簡単に対処できる問題です。 本当の問題は電気の漏れです。もし高功率回路から電気が漏れ出すと、単に故障するだけでなく、制御ボードを破壊したり、全体...

真空チャンバーの壁面を加熱するのをやめましょう。 もしカーボンナノチューブの製造に携わったことがあるなら、温度管理の難しさをご存知でしょう。私たちの多くは、通常の抵抗式ヒーターを使っていますが、これには大きな問題があります。それは、ヒーターが「すべての部分」を加熱してしまうということです。その結果...

なぜカーボンファイバーIRランプが無鉛半導体製造に最適か 半導体業界は、従来の溶剤を使った乾燥方法から徐々に移行しています。新しい無鉛化の規制や環境保護の要求のため、有害な排出物を出さずに高密度の熱を得る方法が必要になりました。 そこで役立つのがカーボンファイバーIRランプです。 魔法はフィラメン...

ヒーターのケースを安全に保つ（そして、操作員の幸せも守る） ステンレス製のヒーターケースを作るとき、その金属製の外殻は単に熱を閉じ込めるだけの役割を果たすわけではありません。実際には、それが最前線の防御手段なのです。 問題は、内部の発熱体から電流がケース内に漏れ出した場合です。そうなると、大変な事...

シャードの発生を防ぐ：なぜリンスサイクルには防水型のIRランプが必要なのか もし、リンスサイクル中にIRランプが破損した経験があるなら、どれほどひどい状況になるかよくわかるでしょう。それはまさに悪夢です。単に部品が壊れただけではなく、ウェーハ全体がガラスの破片や化学物質で覆われてしまいます。これは...

スマートファブでUHP赤外線ヒーターを実際に活用する方法 半導体工場を運営しているなら、UHPヒーターランプが熱エネルギー供給のために不可欠な存在であることはご存知でしょう。しかし、私たちが「インダストリー4.0」の環境へと移行する中で、重要なのは単に熱を供給することだけではありません。重要なのは...

なぜ私たちは赤外線ウエハー加熱方式に移行するのか？ 正直に言えば、従来の対流式オーブンは非効率的です。処理速度が遅く、サイズも大きい上、ウエハーに触れる前に空気や機械の金属部を加熱するだけで大量のエネルギーが無駄になります。 そのため、今ではみんなが赤外線加熱方式に切り替えているのです。これの方が...

クリーンルームでのランプの爆発という悪夢を防ぐには もしウェーハ製造時に赤外線ランプが故障してしまったことがあるなら、それがどれほど大変なことかご存知でしょう。単に熱が出なくなるだけではありません。問題は、水晶の破片やハロゲンガスが至る所に飛び散ってしまうことです。クリーンルームでは、これは本当に...

真空状態でのIR加熱による炭素排出量の削減 もし半導体工場で働いたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。正確な温度制御が必要ですが、ウェーハが酸化したり汚れたりしないように、真空状態で処理を行う必要があります。多くの人々は従来の抵抗式ヒーターを使っていますが、私たちはより良い方法を見つけま...

金メッキされた赤外線ランプを破壊から守る方法 半導体製造工場において、金メッキされた赤外線ランプは、ウェーハの加熱に不可欠な役割を果たします。その金メッキ層は単なる装飾ではありません。実際、その層が熱をウェーハへと伝え、ランプ自体が過度に加熱されるのを防いでいます。 しかし、問題点もあります。これ...

クリーンルーム内の赤外線ランプを安全に保つために クリーンルームでは、少しのミスでも大変なことになります。わずかな汚染や突然の電気的トラブルがあれば、一日の作業はもちろん、プロジェクト全体が台無しになってしまいます。私たちが製造する赤外線ランプは、特定の温度を出すように設計されていますが、実際に重...

半導体製造におけるグローブボックスの炭素排出量を削減する方法 半導体製造工場で使われているグローブボックスのほとんどは、従来の方法で動作しています。つまり、対流や抵抗加熱器を使ってチャンバー全体を加熱するのです。これは、たった一枚のピザを温めるために家全体を温めるようなもので、エネルギーの無駄遣い...

製造現場での炭素削減：乾燥処理について話しましょう 正直に言えば、半導体製造工場は莫大なエネルギーを消費しています。そのエネルギーの多くは、ウェハーの湿式処理後の乾燥という単純な作業に使われてしまっています。 依然として、古式の対流式オーブンや、ウェハー自体ではなく周囲の空気を温めるだけの加熱装置...

ウェーハの硬化処理を適切に行う方法（エネルギーの無駄遣いを避ける） ウェーハを硬化処理する際には、熱の扱い方が重要です。私たちの多くはIRランプを使用していますが、実はランプ自体は問題の半分に過ぎません。本当に重要なのは反射板です。 注意しないと、高価なエネルギーが大量にチャンバー外に漏れ出してし...

ガラスの破片が散乱するのを防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 半導体製造工場では、ランプが故障すると、それは単なる迷惑な問題ではありません。それは本当の悪夢です。赤外線ランプが過度な負荷によって壊れると、停止時間だけでなく、クォーツの破片やハロゲンガスがウェーハの表面に飛び散って...

なぜ私たちがクリーンルーム用のカートで赤外線加熱を利用するのか 半導体製造工場において、「清潔さ」は単なる目標ではなく、全てを決定づける要素です。部品に汚れが残っていれば、それは問題です。 そのため、私たちはカートシステムに赤外線加熱を採用しています。多くの人は熱というと空気を送り込むことを思い浮...

化学的な洗浄処理の後でMEMSセンサーワークを乾燥させる際には、非常に細心の注意が必要です。作業を行うには強力な熱が必要ですが、その作業は可燃性の溶剤のすぐ近くで行われます。少しでも間違えると、深刻な問題が発生します。 だからこそ、私たちは短波長の赤外線ランプを使用しています。このランプは、ウェハ...

熱の無駄遣いをやめよう：より良いバイオセンサーの製造方法 バイオセンサーを作る際には、熱がとても重要です。しかし長年にわたり、私たちはあの使いにくい対流式オーブンに頼ってきました。問題は、わずかな基板を適切な温度にするために、大量の空気を加熱する必要があることです。これは明らかなエネルギーの無駄遣...

ファブ装置内の熱の漏れを防ぐ方法 高出力の加熱ランプには、大きな問題があります。それは、そのランプが非常に熱を発するということです。ウェーハを加工しているとき、その赤外線エネルギーは一定の方向に留まるわけではありません。あらゆる方向に放出されてしまいます。 もしその熱を制御する手段がなければ、機械...

オーブンを待つのはやめよう：なぜ半導体製造において赤外線加熱が優れているのか 多くの半導体製造ラインでは、依然として熱風循環式の加熱方式が使われている。この方式を使ったことがある人なら、その手間のかかり方を知っているだろう。まず空気を加熱し、その空気がチャンバー内を温め、最終的にウエハーが温まるの...

スマートファブで正確な熱データを取得するには もしインダストリー4.0の工場を構築しようとしているのであれば、単に温度を上げるだけでは不十分だということをお分かりでしょう。実際に何が起きているかを知らせてくれるシステムが必要です。 私たちは、スマートセンサーを搭載した赤外線システムを利用して、単な...

化学処理エリアでオゾンを発生させないIRランプを使用して、安全を確保しましょう。 もし化学洗浄ラインで赤外線ヒーターを使用しているなら、その危険性はよくご存知でしょう。可燃性の蒸気や腐食性のある液体が存在するため、設備が損傷する可能性があります。このような環境では、通常のIRランプは単なる部品に過...

水素センサーの製造過程で熱を無駄にしないようにしましょう。 水素センサーを製造する際、ウェーハ上の温度分布は正確でなければなりません。推測に頼ることはできません。そのために、私たちは専用の加熱ランプや金メッキされた反射材を使用しています。 目的は非常に単純です。基板に届くすべての電力が無駄にならず...

従来のやり方での推測はやめましょう もし、現代的なファブを構築しようと思っているなら、まず捨て去るべきなのが「設定しておけば何もしなくて済む」という考え方です。アナログ式のダイヤルを使い、ある程度の推測を重ね、最善を願うしかありません。 しかし、それはまるで目隠しをした状態で作業しているようなもの...

なぜ半導体製造においてIRエミッターがホットエアより優れているのか もし、依然としてディーププロセッシングにホットエアを利用しているのであれば、実質的に多くの時間を待つことに費やしていることになります。 考えてみてください。空気はひどい伝導体です。ウェハーに熱が届く前に、大量のガスを加熱するために...

シャードの発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを汚染から守る方法 高負荷のファブでは、ランプが破裂するというのは単なる「技術的なトラブル」や短時間の停止に過ぎません。それはまさに悪夢です。 1本の石英管が破損すると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。そうなる...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業する際、最も避けたいのは、ヒーターから微粒子が放出されて機器が汚染されることです。実際、これは思った以上によく起こります。一般的なヒーターは、加熱・冷却の過程で剥がれ落ちたり、ガスを放出したりします。そうなると、ウェ...

暖房設備がリスクの源にならないようにしましょう 火災や爆発の危険がある化学薬品を加熱する場合、通常の赤外線ランプはまるで時限爆弾のようなものです。危険な環境では、「運に任せる」わけにはいきません。だからこそ、私たちは金コーティングを施した赤外線ランプを開発したのです。これにより、必要な熱を得つつ、...

イントロダクション これから、将来に備えた半導体製造工場を建設するとしましょう。そこでは、あらゆるものが正確で、迅速かつ完全に連携して動くのです。 加熱システムにおいては、それに見合った熱源が必要です。まさにそのために、私たちはハロゲン赤外線ヒーターランプを開発しました。これらのランプは、半導体製...

私たちが製造するアルミニウム製の反射型赤外線ランプは、実際の工業現場で使われるものです。つまり、厳しい環境下での使用に耐えられるように設計されています。高ワット数の赤外線ランプを使用する際には、必要なタイミングで即座に熱が発生することが求められます。また、電気的安全性も最優先事項です。そのため、1...

はじめに 私たちがこの赤外線ヒーターを開発したのには、単純な理由があります。それは、半導体ウェーハ乾燥炉に使われているOEM製品の代わりとして、高性能で信頼性の高い代替品を提供するためです。 高価な海外製の機器を購入するのに疲れてしまった方や、同等の性能を持つソリューションを求めている方にとって、...

ファブのコストを削減する——重要な部分を犠牲にせずに ファブにおいて、停止時間というのは単なる停止時間ではありません。それは生産性の損失や目標達成の遅れを意味し、ラインが停止した瞬間から問題が発生します。ですから、熱を効果的に供給できる赤外線ヒーターが必要であり、かつ手頃な価格で手に入るものが求め...

なぜわずか0.1℃という数値がウェーハの酸化処理において重要なのか ウェーハの酸化処理は、手を抜くことができないプロセスです。チャンバー全体に均一な熱が行き渡る必要があります。もし加熱要素が0.1℃以内の精度で温度を維持できない場合、酸化膜の厚みが不均一になり、歩留まりが低下してしまいます。 その...

リソグラフィー工程において、ベイク処理というのは単なるウォームアップではありません。それは実際の工程そのものです。ソフトベイク時の2℃程度の温度変動でも、フォトレジストのTg値が変わってしまいます。また、ハードベイク時には不均一性が生じ、エッジ部分や線幅に問題が出ます。信頼できる温度制御が必要であ...

製造現場では、フォトレジスト内やウェーハ表面に残った水分が、露光後にウェーハの寸法精度を悪化させてしまいます。その水分を除去しなければ、不良品が生じ、最悪の場合は大量のウェーハが廃棄されてしまいます。だからこそ、ウェーハ内の水分を除去するためのヒーターランプが必要なのです。これにより、湿潤したウェ...

製造現場では、その重要性は言うまでもありません。フォトレジストのソフトベイク時に±2℃の温度変動があるだけで、重要な寸法が変わってしまいます。また、乾燥過程で粒子が発生すると、一括して不良品になってしまいます。私たちは、プロセスの許容範囲が極めて狭いこのような環境下で、安定した熱特性を実現するため...

フォトレジストの加熱工程においては、歩留まりや処理時間が決まるのです。わずか数度の温度変動やウェーハ上の局所的な過熱があるだけで、線幅のばらつきや汚れ、溶剤の残留といった問題が発生します。必要なのは、速く温度を上昇させ、正確に制御し、その状態を維持できるヒーターです。そして、粒子の発生や停止時間の...

300mmウェハの製造工程において、フォトレジストの加熱処理は、適切に熱エネルギーを利用するか、それとも無駄にしてしまうかの分かれ道です。均一性が悪いと、ウェハ全体にわたって線幅のばらつきが生じます。また、ガス放出や粒子の発生によって工程が汚染されると、再処理が必要になります。したがって、温度を安...

ファブ内では、フォトレジストの安定性は単なる望ましい特性ではなく、必須の条件です。ソフトベイクやハードベイクの際にわずか0.5度でも温度が変動すれば、製品の寸法に影響が出ます。また、実際の負荷条件下で設定温度を維持できないヒーターでは、不良品が発生したり、計画外の停止時間が増えたりします。私たちは...

ファブ内では、フォトレジストの加熱時に0.5℃の温度変動があるだけで、ウェーハの線幅がナノメートル単位で変化してしまいます。そのため、多くのウェーハが廃棄されてしまうのです。私たちは、このような状況に対応するために、短波長の近赤外線を利用したリソグラフィー用ランプを開発しました。これにより、迅速か...

製造現場では、焼成温度が0.5度でも変動すれば、フォトレジストのパフォーマンスが基準値から外れてしまい、結果として廃棄処分になってしまいます。ソフトベイクやハードベイク、ウェーハの乾燥処理といった工程は、単なる加熱処理に過ぎないわけではありません。これらは、線幅やプロファイルの制御、欠陥の発生を防...

スケジューラーは、ヒーターが追いつくのを待っているわけにはいきません。CVDチャンバーでは、工程の要求に応じてすぐに温度が安定している必要があります。設定値からたとえ1度でもずれると、薄膜の厚さが変動したり、応力が変わったり、歩留まりが低下したりします。 内部で重要なのは何か 私たちは、このCVD...

ライン上では、ウェーハが洗浄工程を経て出てきます。その時点からタイマーが動き始めます。残っている水分は、レジストの不均一な硬化やブリッジ現象として現れ、それによって歩留まりが低下します。したがって、熱負荷を増やしたり、粒子が混入したりすることなく、迅速に水分を除去する必要があります。 内部で重要な...

工場の現場では、温度均一性は追求する指標ではなく、ダイを製造することと廃棄物を出すことの間の微妙な線です。フォトレジストのベイク中にウエハ全体で1°Cの変動があると、ライン幅がずれて最終テストにまで影響を及ぼす可能性があります。我々は、このリスクを排除するためにセラミック赤外線ヒーターパネルを開発...

ファブフロアでは、どうなるかご存じでしょう：フォトレジストの焼成中に0.3°Cのドリフトが発生すると、全ロットが廃棄されることになります。ウエハーオーブン用のSK15赤外線ランプは、そのドリフトを発生源で抑えるために設計されました。熱予算に直接アプローチするため、ソフトベークおよびハードベークプロ...

アウトライン上では、フリップチップボンディングは熱プロファイルがずれ始めると極めて繊細な工程です。ひとつのホットスポットがあればバンプのアンダーフィルが不十分になり、ひとつの冷却ゾーンがあればボイドが発生します。ヒーターランプは熱管理の中心に位置し、ノードが縮小するにつれてそのプロセスウィンドウは...

300mmラインにおけるウェットウェーハの取り扱い 300mmラインでは、ウェットウェーハが放置されるとラインが停止します。残留水分は、リソグラフィーに到達する前に、ストリークや粒子、歩留まりの損失を引き起こします。リンスの直後に速乾モジュールを構築し、リンスから乾燥へのハンドオフを制御された熱処...

ライン上でのドリフトは許されない。 ウェハのリソグラフィおよびフォトレジスト処理における熱予算は秒単位と温度単位で管理される。燃料電池スタックの触媒層も同様に厳格であり、薄く、繊細で、不均一な乾燥を許容しない。ランプの性能が不足しているとすぐにわかる：エッジビード、接着不良、溶剤のキャリーオーバ...