반도체 글로브박스의 탄소 발자국을 줄이는 방법
반도체 생산 공장에 있는 대부분의 글로브박스들은 기존의 방식을 사용합니다. 즉, 대류나 저항식 히터를 이용해 전체 챔버를 가열하는 것입니다. 이는 마치 피자 한 조각을 데우기 위해 집 전체를 데우는 것과 같습니다. 에너지 낭비이며, 환경에도 해롭습니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 단파 근적외선 히터를 사용하면 열을 원하는 부품에 직접 가할 수 있습니다. 더 이상 공기나 벽을 가열할 필요가 없습니다. 오직 실제로 열이 필요한 부분만 가열됩니다.
“전체 가열” 방식을 중단하세요
탄소 중립 목표를 달성하려면 이러한 전체 가열 방식을 중단해야 합니다. 우리의 근적외선 히터는 특정 파장의 빛을 방출하는데, 이 파장은 목표물이 흡수할 수 있는 파장입니다.
와트수와 전압을 조절할 수 있기 때문에, 열은 목표물에 직접 전달되고 그곳에 머뭅니다. 글로브박스의 벽으로는 열이 스며들지 않습니다. 그래서 공장의 HVAC 및 냉각 시스템도 그다지 큰 부담을 겪지 않습니다.
장비에 대한 세부 사항
우리는 고순도 석영과 특수 코팅을 사용하여 에너지가 재료 내부로 침투하도록 합니다. 그래서 에너지가 표면에서 반사되는 것을 막을 수 있습니다.
가장 좋은 점은, 이러한 장비들은 기존 장비를 그대로 대체할 수 있다는 것입니다. 전체 설비를 다시 설계할 필요 없이 기존의 저항식 히터를 교체할 수 있습니다.
또한, 고온 커넥터를 사용하기 때문에 단자가 손상될 걱정도 없습니다. 다만 석영을 다룰 때는 주의해야 합니다. 손가락 자국이나 기름이 유리 표면에 남으면 열이 집중되어 히터가 예상보다 빨리 고장날 수 있습니다. 깨끗하게 유지해야 합니다.
장단점
좋은 점은 근적외선 히터는 매우 빠르다는 것입니다. 온도가 거의 즉시 상승합니다. 따라서 사용하지 않을 때는 시스템을 끄고 전기 요금을 절약할 수 있습니다.
하지만 단점도 있습니다. 근적외선 히터는 명확한 시야가 필요합니다. 히터가 부품을 볼 수 없으면 열을 가할 수 없습니다.
글로브박스의 구조가 복잡하거나 기하학적 형태가 이상하다면, 여러 개의 히터를 사용해 차가운 부분을 없애야 합니다. 또한, 전원 공급 장치가 안정적인지 확인해야 합니다. 갑작스러운 전압 변동은 일반 코일보다 근적외선 히터를 더 빨리 손상시킬 수 있습니다.