真空室红外加热器

保持100级洁净室的清洁状态 在100级洁净室中工作时，最不希望发生的情况就是加热元件开始释放颗粒物，从而污染设备。这种情况其实比人们想象的要常见。普通的加热元件在受热过程中容易出现碎裂或释放气体的情况，而一旦发生这种情况，那么你的晶圆或高精度光学元件就毁了。 为了解决这个问题，我们使用高纯度的合...