スマートファブへの移行を検討しているなら、まずは熱管理について話し合いましょう。 もし工場を「スマートファブ」環境に移行させようと考えているのであれば、古い加熱装置が足かせになっていることに気づいているはずです。多くの工場では依然として対流式や抵抗加熱方式が使われています。しかし、これらの方法は速...

なぜカーボンファイバーIRランプが無鉛半導体製造に最適か 半導体業界は、従来の溶剤を使った乾燥方法から徐々に移行しています。新しい無鉛化の規制や環境保護の要求のため、有害な排出物を出さずに高密度の熱を得る方法が必要になりました。 そこで役立つのがカーボンファイバーIRランプです。 魔法はフィラメン...

ヒーターのケースを安全に保つ（そして、操作員の幸せも守る） ステンレス製のヒーターケースを作るとき、その金属製の外殻は単に熱を閉じ込めるだけの役割を果たすわけではありません。実際には、それが最前線の防御手段なのです。 問題は、内部の発熱体から電流がケース内に漏れ出した場合です。そうなると、大変な事...

製造現場での炭素削減：乾燥処理について話しましょう 正直に言えば、半導体製造工場は莫大なエネルギーを消費しています。そのエネルギーの多くは、ウェハーの湿式処理後の乾燥という単純な作業に使われてしまっています。 依然として、古式の対流式オーブンや、ウェハー自体ではなく周囲の空気を温めるだけの加熱装置...

ファブ装置内の熱の漏れを防ぐ方法 高出力の加熱ランプには、大きな問題があります。それは、そのランプが非常に熱を発するということです。ウェーハを加工しているとき、その赤外線エネルギーは一定の方向に留まるわけではありません。あらゆる方向に放出されてしまいます。 もしその熱を制御する手段がなければ、機械...

シャードの発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを汚染から守る方法 高負荷のファブでは、ランプが破裂するというのは単なる「技術的なトラブル」や短時間の停止に過ぎません。それはまさに悪夢です。 1本の石英管が破損すると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。そうなる...

ファブのコストを削減する——重要な部分を犠牲にせずに ファブにおいて、停止時間というのは単なる停止時間ではありません。それは生産性の損失や目標達成の遅れを意味し、ラインが停止した瞬間から問題が発生します。ですから、熱を効果的に供給できる赤外線ヒーターが必要であり、かつ手頃な価格で手に入るものが求め...

ファブ内では、フォトレジストの安定性は単なる望ましい特性ではなく、必須の条件です。ソフトベイクやハードベイクの際にわずか0.5度でも温度が変動すれば、製品の寸法に影響が出ます。また、実際の負荷条件下で設定温度を維持できないヒーターでは、不良品が発生したり、計画外の停止時間が増えたりします。私たちは...