なぜカーボンファイバーIRランプが無鉛半導体製造に最適か
半導体業界は、従来の溶剤を使った乾燥方法から徐々に移行しています。新しい無鉛化の規制や環境保護の要求のため、有害な排出物を出さずに高密度の熱を得る方法が必要になりました。
そこで役立つのがカーボンファイバーIRランプです。
魔法はフィラメントにある
多くの人は金属コイルを使っていると思いますが、私たちは異なる方法を採用しています。つまり、石英管の中にカーボンファイバーフィラメントを使用するのです。なぜでしょうか？それは、熱を全体に均等に分布させるからです。
薄いウェーハが変形してしまうような「ホットスポット」も発生しません。また、中波～短波の放射線は直接樹脂に届きます。周囲の空気を温める時間が不要で、直接対象物を加熱できます。
速い。本当に速い
最も優れている点は、その速さです。このランプは数秒で動作温度に到達します。対流式オーブンのように長い準備時間は必要ありません。スイッチを入れるだけですぐに使用可能です。これにより、エネルギーコストを削減でき、クリーンルームがサウナのようになるのも防げます。
注意すべき点
ただ単に繋げるだけではありません。配線時には電圧調整を正確に行う必要があります。また、カーボンファイバーはハロゲンよりも振動に強いですが、石英管は依然としてガラス製なので壊れやすいです。床が激しく揺れる場合は、緩衝材を使って取り付けることで、管が壊れるのを防ぎましょう。
クリーンな熱、心配不要
無鉛での硬化処理には、従来の方法よりも高い温度が必要です。カーボンファイバーはこのような高温にも容易に対応でき、燃焼副産物やVOCを排出しません。純粋で乾燥した熱です。ゼロ排出を目指す場合、これが最適な方法です。