ウェーハ用高精度IRセンサー

リソグラフィー工程において、ベイク処理というのは単なるウォームアップではありません。それは実際の工程そのものです。ソフトベイク時の2℃程度の温度変動でも、フォトレジストのTg値が変わってしまいます。また、ハードベイク時には不均一性が生じ、エッジ部分や線幅に問題が出ます。信頼できる温度制御が必要であ...