
スマートファブへの移行を検討しているなら、まずは熱管理について話し合いましょう。
もし工場を「スマートファブ」環境に移行させようと考えているのであれば、古い加熱装置が足かせになっていることに気づいているはずです。多くの工場では依然として対流式や抵抗加熱方式が使われています。しかし、これらの方法は速度が遅すぎます。デジタル制御装置の速度に追いつけないのです。
だからこそ、私たちは赤外線を利用します。部品周辺の空気を加熱するのではなく、赤外線が直接材料にエネルギーを与えます。これは全く異なるアプローチです。
実際に即座に反応する熱処理
生産ラインがデジタル化されると、ハードウェアは即座に反応しなければなりません。赤外線システムはまさにそれを実現します。ミリ秒単位で反応するように設定できます。例えば、センサーがウェーハや基板の温度が正常でないことを検出したら、赤外線システムは即座に熱量を調整します。巨大なオーブンが反応するのを待つ必要はありません。熱遅延もありません。ただ単純に機能するのです。
床面スペースの節約
最も良い点の一つは、床面スペースを大幅に節約できることです。直接部品に熱を与えるため、大量の空気を温めるために必要な巨大な断熱室は不要になります。私たちは通常、これらのシステムを配置計画に組み込み、処理工程間の距離をできるだけ短くします。
問題点:冷却と電力供給
ここが問題点です。高密度の赤外線エミッターは、ごく狭い範囲で大きな効果を発揮します。古い筐体にそのまま入れてしまってはいけません。冷却が適切でなければ、周囲の熱が蓄積され、電子機器が破壊されてしまいます。冷却機能をしっかり設計しなければ、故障の原因となります。
しかし、適切に設計されていれば、夢のような仕組みになります。私たちは、このシステムを通じてリアルタイムのデータを取得できるようにしています。消費電力を把握し、エミッターの劣化状況を正確に把握できます。ランプが壊れて製品全体がダメになる前に、交換するタイミングを把握できます。
これが、真のデータ駆動型の工場の運営方法です。